表面粗度測定機

使用鑽石觸針或雷射光式的光觸針，觸控追循加工件表面，檢出工件表面微細的凹凸，並以定性或定量來解析粗度參數。

微細形狀測定機

FDP基板、WAFER、HARD、DISK等微細形狀、段差、台階、粗度測定。

輪廓形狀測定機

以觸針追循加工部品外形來檢出輪廓，求出輪廓各部位的角度、半徑、間隔、段差量等。

真圓度測定/真圓度圓筒形狀測定機

測定引擎、汽缸體、活塞、曲軸、軸承等，具有圓筒、球型、平面形狀的工件，評價真圓度、真直度、圓筒度、同軸度等形狀精度。

顯微鏡細微尺寸測定機

於面板業界利用手動光學檢查配合尺寸影像量測軟件做細微測定，並可針對量產檢查擴充全自動CNC測定。