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輪廓形狀測定
DIGITAL表面形狀、粗度測定機
Sufcorder DSF800

精密部品的機械加工/沖模加工/磨耗/變形的評價測定
段差、高度、深度、角度、徑、PITCH、偏差形狀比較,表面粗度、波紋度、真直度

採用雷射干涉計方式

雷射檢出器

雷射光源置於檢出器外部,以光先導入光路差倍增光學系,不會因光熱而產生漂移。
動態範圍和分解能比值600000:1,大型測定件中,埋藏於溝谷之間的微細形狀,巨細皆可測定出來。

Z軸分解能/測定範圍 0.01µm/ 6mm
0.02µm/12mm
X軸分解能/測定範圍 0.1µm/ 100mm

*粗度、波紋度解析機能
*形狀解析機能
‧要素解析、向量解析  ‧非球面解析
‧Ball Screw解析    ‧非球面解析‧MASTER比較解析


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