採用雷射干涉計方式 雷射檢出器
雷射光源置於檢出器外部,以光先導入光路差倍增光學系,不會因光熱而產生漂移。 動態範圍和分解能比值600000:1,大型測定件中,埋藏於溝谷之間的微細形狀,巨細皆可測定出來。
*粗度、波紋度解析機能 *形狀解析機能 ‧要素解析、向量解析 ‧非球面解析 ‧Ball Screw解析 ‧非球面解析‧MASTER比較解析