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微細形狀測定 |
| 精度、安定性、機能性卓越，應用於WAFER、FDP、TFT-LCD、COLOR FILTER、BUMP、光電產品、測定微細表面形狀、段差、平面度、粗度、應力分析等。 | ||
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 檢出部 |
 測定時試料面和觸針的關係，及時觀察映象 |
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 段差測定 |
 三次元測定(迴轉、鳥瞰圖) |
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