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微細形狀测定 精度、安定性、机能性卓越，应用于WAFER、FDP、TFT-LCD、COLOR FILTER、BUMP、光电产品、测定微细表面形状、段差、平面度、粗度、应力分析等。 |
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 检出部 |
 测定时试料面和触针的关系，及时观察映象 |
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 段差测定 |
 三次元测定(回转、鸟瞰图) |
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